三维表面轮廓仪是一种用于高精度测量物体表面三维形貌的精密计量仪器,广泛应用于电子、汽车、半导体、医疗及材料科学等领域。该仪器整合了白光干涉、共聚焦显微镜等多种光学测量技术,可自动化切换测试模式,实现非接触式或接触式测量,避免对样品表面造成损伤。基于光学干涉或激光投射原理,通过发射白光或激光到被测物体表面,收集反射光或散射光,结合计算机图像处理技术,重建物体表面的三维坐标数据。
1、微观形貌检测
三维成像与重建:通过白光干涉、激光扫描等技术,生成高分辨率的三维表面图像,直观展示微观结构特征。
多参数测量:可量化粗糙度(如Ra、RMS)、台阶高度、平面度、孔洞深度等参数,支持ISO/ASME/GBT等国际标准。
2、高精度非接触式测量
纳米级分辨率:垂直分辨率达0.1nm,横向分辨率低至0.04μm(使用高倍物镜),适用于超光滑表面检测。
非接触无损检测:避免接触式测量对样品的损伤,尤其适合半导体晶圆、光学镜片等精密器件。
3、自动化与智能化操作
多模式自动切换:整合白光干涉、共聚焦显微镜、明暗视野成像等技术,实现模式无缝切换,提升效率。
智能辅助功能:自动对焦、条纹识别、亮度调节及防撞保护,降低操作门槛。
4、复杂表面与大范围扫描
扩展算法支持:如SuperViewW的EPSI算法,兼顾高精度与大范围扫描,自动拼接超光滑凹面或弧形表面。
多区域拼接测量:最大扫描范围可达140×100mm,满足大尺寸样品的全域分析需求。
5、跨领域应用支持
工业制造:半导体晶圆缺陷检测、3C电子玻璃屏平整度分析、汽车零部件表面质量控制等。
科研分析:材料表面磨损评估、薄膜厚度测量(如透明镀膜)、生物样品微观结构研究。
环境适应性:双通道气浮隔振系统减少振动干扰,反射率0.05%~100%的样品均可测量。
6、数据综合处理
动态噪声分析:定量评估环境振动对测量的影响,优化实验条件。
多标准输出:提供300余种2D/3D参数,覆盖距离、角度、曲率等分析维度。