台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。中图仪器NS系列台阶仪接触式表面形貌测量仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。

SuperViewW1国产三维白光干涉仪以白光干涉技术原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对各种精密器件表面进行纳米级测量，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

SuperViewW1国产白光干涉显微镜以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

VT6000激光共聚焦显微成像仪配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现。仪器整体结构简单，由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走”的便携式设计。

中图台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。

在材料生产检测领域中，VT6000转盘共聚焦高分辨率显微镜结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉仪检测仪提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等；以及自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

3d白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。