产品简介

PLR3000数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，具有更高的稳定性，安装快捷，易于准直等特点，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。

PLR3000数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，具有更高的稳定性，安装快捷，易于准直等特点，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

一、产品优势

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。

（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。

2. 灵活配置

（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。

（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。

3. 高稳定性与便捷性

（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。

（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。

4. 广泛适用性

大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。

二、性能特点

1.超高精度

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版线性精度达0.2ppm（普通版0.5ppm），稳频精度低至0.02ppm，相当于4米测量距离误差仅0.8μm，满足纳米级生产检测需求；

2.全场景适配

量程4m（可按需拓展），动态测量速度支持2m/s，覆盖从静态实验室检测到高速生产线联动的全场景；

3.环境抗干扰

一体化环境气象站实时补偿温度（10-40℃）、气压（650-1150mbar）、湿度（0-95%无凝露）影响，实测在-10℃至45℃工况下，数据稳定性仍保持±0.1ppm以内；

4.灵活安装设计

激光主机（2.8Kg）与探头（460-500g）分离，3m铠装光纤连接（可定制长度），狭小空间安装无压力，阿贝误差降低60%以上。

三、应用案例

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

PLR3000数控机床多轴联动位置反馈光纤激光尺基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量。产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。