产品简介

中图仪器PLR3000系列0.02ppm光纤激光干涉尺解决测量精度不足、稳定性差、安装受限、多轴测量难等难题，以突破性激光干涉技术，一站式解决高要求场景下的位置检测难题，为超精密加工、微电子制造、航空航天等领域打造“精准+高效+灵活"的测量体验。

中图仪器PLR3000系列0.02ppm光纤激光干涉尺纳米级精准测量解决方案，解决测量精度不足、稳定性差、安装受限、多轴测量难等难题，以突破性激光干涉技术，一站式解决高要求场景下的位置检测难题，为超精密加工、微电子制造、航空航天等领域打造“精准+高效+灵活"的测量体验。

一、核心价值

1. 精度焦虑破解：10nm分辨率+0.2ppm线性精度，满足纳米级测量需求，杜绝加工误差导致的产品报废

2. 复杂工况适配：热源隔离设计+环境实时补偿，温度/气压/湿度变化不影响数据稳定性

3. 效率成本双升：多轴同步测量+快速安装准直，减少设备调试时间，提升生产线流转效率

4. 场景无界适配：4m大量程可拓展，动态速度支持2m/s，覆盖静态检测到高速运动全场景

二、核心功能

1. 纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量

5. 双重使用模式：既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制

三、典型应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度

四、核心优势

1. 精度碾压传统方案：相比钢带尺/玻璃光栅，PLR3000系列0.02ppm光纤激光干涉尺栅距更精准、分辨率更高，环境补偿技术进一步保障数据稳定性

2. 定制化适配能力：支持量程拓展、探头选配、多通道输出，根据客户生产场景量身定制方案

3. 降本增效属性：体积小巧降低阿贝误差，安装快捷减少调试成本，动态测量能力适配高速生产线

4. 全周期可靠保障：激光校准认证加持，数据可追溯，满足工业生产合规要求

五、专属服务：B端客户无忧合作保障

1. 定制化方案：按需提供探头配置、量程拓展、环境补偿单元等灵活选配，贴合实际生产需求

2. 专业技术支撑：1年质保+7×24小时全球技术团队响应，快速解决现场安装、使用难题

3. 认证背书：提供激光校准证书，确保测量数据精准合规，助力客户通过行业审核

六、解锁专属测量方案

点击咨询即可免费获取：① 行业定制化测量方案 ② 精度验证报告 ③ 技术演示预约，让中图仪器专业团队为你匹配配置，赋能生产升级！

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注：产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。