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激光测量仪
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PLR3000非接触式高精度光纤激光尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
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